本文標(biāo)題:掃描電子顯微鏡匯聚透鏡成像系統(tǒng)
信息分類:站內(nèi)新聞 新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-4-7 12:43:42
掃描電子顯微鏡匯聚透鏡成像系統(tǒng)
電磁透鏡熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來成束，所以電磁透鏡必不可少。
通常會(huì)裝配兩組匯聚透鏡和成像系統(tǒng)。
匯聚透鏡用匯聚電子束，裝配在真空柱中，位于電子槍之下。通常有
一組匯聚光圈與之相配。但匯聚透鏡匯聚電子束，與成像會(huì)焦無關(guān)。
物鏡為真空柱中最下方的一個(gè)電磁透鏡，它負(fù)責(zé)將電子束的焦點(diǎn)匯聚
到樣品外部。
成像系統(tǒng)電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作
用，會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子、背散射電子、歐革電子以及一系列信號(hào)。
所以需要不同的探測(cè)器譬如次級(jí)電子探測(cè)器、X射線能譜分析儀等來
區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。
雖然射線信號(hào)不能用于成像，但仍然將射線分析系統(tǒng)劃分到成像系統(tǒng)
中。可電子探測(cè)器代替，但需一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除次級(jí)電子。
光學(xué)顯微鏡成像原理比較的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品
，在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子，次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān)
與樣品結(jié)構(gòu)有關(guān)。
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