本文標(biāo)題:場發(fā)射掃描電子顯微鏡的用途
信息分類:站內(nèi)新聞 新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-4-28 15:52:48
場發(fā)射掃描電子顯微鏡的用途
場發(fā)射掃描電子顯微鏡的主要用途該儀器具有超高分辨率，能做各種
固態(tài)樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理。
場發(fā)射掃描電子顯微鏡的 具有高性能x射線能譜儀，能同時(shí)進(jìn)行樣品
表層的微區(qū)點(diǎn)線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學(xué)
組分綜合分析能力。
場發(fā)射掃描電子顯微鏡的儀器類別儀器儀表、光學(xué)儀器 、電子光學(xué)
及離子光學(xué)儀器
場發(fā)射掃描電子顯微鏡的指標(biāo)信息二次電子象分辨率加速電壓放大倍
數(shù)，萬倍連續(xù)可調(diào)工作距離連續(xù)可調(diào)傾斜射線能譜儀。分辨率分析范
圍鍍金鍍炭儀、圖像處理系統(tǒng)背散射探頭。
場發(fā)射掃描電鏡由于分辨率高，為納米材料的研究提供了可靠的實(shí)驗(yàn)
手段。
場發(fā)射掃描電子顯微鏡對(duì)半導(dǎo)體材料和絕緣體，都能得到滿意的圖像
，對(duì)超導(dǎo)，磁性，分子延生長的薄膜材料，半導(dǎo)體進(jìn)行了形貌觀察，
并對(duì)進(jìn)行了微區(qū)成份分析。
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